日本阿耐斯特岩田 无油涡旋真空泵
本产品适用于真空封装设备、真空镀膜、机器人真空气源、检测仪器、回收装置、大型印刷设备吸附等等。 无需用油及冷却水等辅助结构（装置）即可实现小型、大流量、高真空度的真空气源。
LEYBOLD莱宝SC涡旋式真空泵：
目前半导体、平板显示、太阳能光伏电池以及化学工业的发展迅速，对洁净真空的要求越来越高。为了满足客户对无油洁净真空的需求，欧瑞康莱宝推出了SC系列涡旋式真空泵。
SCROLLVAC涡旋真空泵原理：
SCROLLVAC SC-D干式压缩真空泵是按照涡旋式压缩机的工作原理运行，每台泵集成了2个阿基米德螺旋螺杆，通过减小凹槽的容积，并将气体从外向里压缩产生真空。
SC系列真空泵特点：
·可以提供抽速为5,15和30m3/h的3款产品SC5/15/30D；
·高极限真空，低可达0.01mbar；
·低噪声；
·低振动；
·允许进气压力大；
·重量轻；
·能耗低；
应用范围：
·电子束焊接；
·激光；
·检漏系统；
·加速器/同步加速器；
·表面分析仪；
·STM’s；
·ELMI；
·小型涡轮泵组；
岩田无油涡旋式真空泵其它型号：
ISP-50
ISP-90
ISP-250C
ISP-500C
ISP-1000
